R14制冷剂(四氟甲烷)
详细描述
R14超低温制冷剂,中文名称四氟化碳、四氟甲烷。R14制冷剂主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
R14制冷剂介绍
R14属于fc类制冷剂——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应;目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
R14制冷剂用途
R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
R14制冷剂包装运输
四氟甲烷R14对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5Mpa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。
钢瓶包装(14MPa)(DOT-3AAGB-5099),阀门(CGA-580/590,QF-2),32kg/48.8L,30kg/43.3L ,5kg/8L,2.5kg/4L。
R14制冷剂质量标准
产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4)
指标名称 | 高纯级 | 优级品 | 一级品 |
含量,%(v/v) ≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
氮气,%(v/v) ≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
氧气,%(v/v) ≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
水份,ppm ≤ | 5 | 5 | 10 |
二氧化碳,ppm ≤ | 5 | 10 | 800 |
氟化碳,ppm ≤ | 15 | 20 | - |
酸度,(HF)ppm ≤ | 0.1 | 1 | - |
六氟化硫,ppm ≤ | - | - | 600 |
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