R116制冷剂(六氟乙烷)
详细描述
R116制冷剂,中文名称六氟乙烷,商品名称R-116,是一款特种超低温制冷剂,主要用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂等。
R1166制冷剂用途
R116作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R116同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
六氟乙烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
R116制冷剂参数
名称:R116、FC-116 | 中文名称:六氟乙烷,电子级氟碳,全氟乙烷,氟里昂116 |
英文全称:hexafluoroethane | 化学分子式:CF3CF3、C2F6 |
分子量:138 | 标准沸点:-78℃ |
临界温度:20℃ | 临界压力:3MPa(绝压) |
临界密度:0.613g/cm3 | CAS编号:76-16-4 |
R116物化性质
冷媒名称 | R-116 |
分子量 | 88.0 |
沸点(1atm),℃ | -128 |
临界温度,℃ | -45.67 |
临界压力,kPa | 3740 |
饱和蒸气压(25℃),kPa | 3650(-45.6℃) |
汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg | - |
破坏臭氧潜能值(ODP) | 0 |
全球变暖潜能值(GWP,100 yr) | 5700 |
ASHRAE安全级别 | A1(无毒不可燃) |
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