气体 六氟丁二烯（全氟丁二烯） 六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。近年来，因其具有蚀刻选择性好、精度高、在大气中易分解等优异性能，成为最有可能代替传统含氟蚀刻气体的候选物之一。 制冷科普 /气体/1 月前 / 266 阅读
