四氟化碳，CAS号75-73-0，中文名称四氟甲烷，商品名称R-14。用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。
| 中文名 |
四氟化碳 |
| 英文名 |
carbon tetrafluoride |
| 别名 |
四氟化碳 四氟甲烷 高纯四氟化碳 四氟甲烷 R41 四氟甲烷四氟化碳 四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳 |
| 英文别名 |
Tetrafluoromethane carbon tetrafluoride Tetrafluoromethane(FC-14) CARBON TETRAFLUORIDE (R-14) Carbon tetrafluoride (FC-14) Tetrafluoromethane(CarbonTetrafluoride) |
| CAS |
75-73-0 |
| EINECS | 200-896-5 |
| 化学式 |
CF4 |
| 分子量 | 88 |
| InChI | InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5 |
| 密度 | (solid, -195°) 1.98; d (liq, -183°) 1.89 |
| 熔点 | −184°C(lit.) |
| 沸点 | −130°C(lit.) |
| 水溶性 | mL/100mL in H2O: 0.595 (10°C), 0.490 (20°C), 0.366 (40°C) [LAN05] |
| 蒸汽密度 | 3.04 (vs air) |
| 折射率 | 1.1510 |
| 稳定性 | Stable. Incompatible with zinc, alkaline earth metals, Group I metals, aluminium and its alloys. Non-flammable. |
| Merck | 13,1827 |
| 物化性质 | 无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。 |
| 产品用途 | 用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂 |
| 危险品标志 |
F - 易燃物品 |
| 安全术语 |
38 - 通风不良时，须佩戴适当的呼吸器。 |
| 危险品运输编号 | UN 1982 2.2 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS | FG4920000 |
| TSCA | T |
| Hazard Note | Non-flammable |
| Hazard Class | 2.2 |
| 上游原料 | 碳化硅 氢氧化铬 石油焦 二氯二氟甲烷 碳酰氟 |
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