CAS:75-73-0|四氟化碳|R14制冷剂

四氟化碳，CAS号75-73-0，中文名称四氟甲烷，商品名称R-14。用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。

中文名	四氟化碳
英文名	carbon tetrafluoride
别名	四氟化碳 四氟甲烷 高纯四氟化碳 四氟甲烷 R41 四氟甲烷四氟化碳 四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳
英文别名	Tetrafluoromethane carbon tetrafluoride Tetrafluoromethane(FC-14) CARBON TETRAFLUORIDE (R-14) Carbon tetrafluoride (FC-14) Tetrafluoromethane(CarbonTetrafluoride)
CAS	75-73-0
EINECS	200-896-5
化学式	CF4
分子量	88
InChI	InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5
密度	(solid, -195°) 1.98; d (liq, -183°) 1.89
熔点	−184°C(lit.)
沸点	−130°C(lit.)
水溶性	mL/100mL in H2O: 0.595 (10°C), 0.490 (20°C), 0.366 (40°C) [LAN05]
蒸汽密度	3.04 (vs air)
折射率	1.1510
稳定性	Stable. Incompatible with zinc, alkaline earth metals, Group I metals, aluminium and its alloys. Non-flammable.
Merck	13,1827
物化性质	无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。
产品用途	用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂
危险品标志	F - 易燃物品
安全术语	38 - 通风不良时，须佩戴适当的呼吸器。
危险品运输编号	UN 1982 2.2
WGK Germany	3
RTECS	FG4920000
TSCA	T
Hazard Note	Non-flammable
Hazard Class	2.2
上游原料	碳化硅 氢氧化铬 石油焦 二氯二氟甲烷 碳酰氟