六氟乙烷，CAS号为76-16-4，用作绝缘气、等离子蚀刻剂,、高介电强度泠却剂；用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。
| 中文名 |
全氟乙烷 |
| 英文名 |
hexafluoroethane |
| 别名 |
六氟乙烷 全氟乙烷 R116全氟乙烷 六氟乙烷 R116 |
| 英文别名 |
r116 R-116 R 116 PFC116 freon116 Hexafluorethan perfluoroethane hexafluoroethane hexafluoro-ethan Perfluorocarbon116 FC-116~Perfluoroethane |
| CAS |
76-16-4 |
| EINECS | 200-939-8 |
| 化学式 |
C2F6 |
| 分子量 | 138.01 |
| InChI | InChI=1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8 |
| InChIKey | WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N |
| 密度 | 1,607 g/cm3 |
| 熔点 | −100°C(lit.) |
| 沸点 | −78°C(lit.) |
| 蒸汽压 | 430 psi ( 21 °C) |
| 蒸汽密度 | 4.7 (vs air) |
| 折射率 | 1.2060 |
| 物化性质 | 六氟乙烷化学式C2F6，纯度>99.7%，为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体。微溶于水，熔点-100.6℃，沸点-78℃，液体密度1.60g/ml。 |
| 危险品标志 |
Xi - 刺激性物品 |
| 安全术语 |
38 - 通风不良时，须佩戴适当的呼吸器。 |
| 危险品运输编号 | UN 2193 2.2 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS | KI4110000 |
| TSCA | T |
| Hazard Note | Irritant |
| Hazard Class | 2.2 |
| 上游原料 | 乙烷 |
| 下游产品 | 八氟丙烷 |
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