CAS:76-16-4|六氟乙烷|R116制冷剂

六氟乙烷，CAS号为76-16-4，用作绝缘气、等离子蚀刻剂,、高介电强度泠却剂；用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

六氟乙烷

中文名	全氟乙烷
英文名	hexafluoroethane
别名	六氟乙烷全氟乙烷 R116全氟乙烷六氟乙烷 R116
英文别名	r116 R-116 R 116 PFC116 freon116 Hexafluorethan perfluoroethane hexafluoroethane hexafluoro-ethan Perfluorocarbon116 FC-116~Perfluoroethane
CAS	76-16-4
EINECS	200-939-8
化学式	C2F6
分子量	138.01
InChI	InChI=1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8
InChIKey	WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N
密度	1,607 g/cm3
熔点	−100°C(lit.)
沸点	−78°C(lit.)
蒸汽压	430 psi ( 21 °C)
蒸汽密度	4.7 (vs air)
折射率	1.2060
物化性质	六氟乙烷化学式C2F6，纯度>99.7%，为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体。微溶于水，熔点-100.6℃，沸点-78℃，液体密度1.60g/ml。
危险品标志	Xi - 刺激性物品
安全术语	38 - 通风不良时，须佩戴适当的呼吸器。
危险品运输编号	UN 2193 2.2
WGK Germany	3
RTECS	KI4110000
TSCA	T
Hazard Note	Irritant
Hazard Class	2.2
上游原料	乙烷
下游产品	八氟丙烷