R41制冷剂（一氟甲烷）
详细描述
R41制冷剂，中文名称一氟甲烷、氟甲烷、甲基氟，是一种生产氟溴甲烷的原料。
R41制冷剂用途
高纯HFC-41气体是一种绿色、高效的新型蚀刻气，可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜，常用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。
R41制冷剂参数
| 名称：氟甲烷;甲基氟,一氟甲烷R41,HFC-41，F-41 | 英文全称：fluoromethane |
| 化学分子式:CH3F | 分子量：34 |
| 摩尔质量：34g/mol | 三相点温度：-143.33℃ |
| 标准沸点：-78.31℃ | 沸临界温度：44.13℃ |
| 临界压力：5.897MPa（绝压） | 临界密度：316.5kg/m3 |
| 凝固点：-142℃ | CAS编号：593-53-3 |
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