六氟丁二烯，CAS号685-63-2，化学式C4F6，商品名称全氟丁二烯，是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。...

六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。近年来，因其具有蚀刻选择性好、精度高、在大气中易分解等优异性能，成为最有可能代替传统含氟蚀刻气体的候选物之一。